通常臭氧發生器在產生臭氧的過程中，會產生熱量，使機器內部的溫度升高。而較高的溫度會分解臭氧，促使臭氧還原成氧氣，降低臭氧的發生量。所以，在生成臭氧的過程中，須對臭氧發生器進行冷卻，才能穩定并提高臭氧的發生量。
臭氧發生器的冷卻方式包括風冷、水冷兩種。工業臭氧發生器多為中大型臭氧發生器，常用水冷方式進行冷卻。
在設計和使用工業臭氧發生器的過程中，必須遵循相關規則，才能獲得高產量的臭氧，才能保障臭氧發生器正常運行。
臭氧又稱超氧，是氧氣的同素異形體，是種無色略帶臭味的氣體，溶于水后就會成為一種強氧化劑，對活細胞有較強的殺滅作用。臭氧發生器可將空氣中的氧氣在高壓、高頻電的電離作用下轉化為臭氧，臭氧易于分解無法儲存，需現場制取現場使用（特殊的情況下可進行短時間的儲存），臭氧發生器產生的臭氧氣體可以直接利用，也可以通過混合裝置和液體混合參與反應。臭氧發生器滅菌屬溶菌的范疇，殺菌徹底迅速、高效廣譜，幾乎對所有病菌、霉菌、真菌及原蟲、卵囊都有明顯的滅活效果，并可破壞肉毒桿菌毒素。在消毒滅菌的同時，臭氧發生器可以將臭氧自行還原為氧氣，沒有危害殘留，無二次污染，是一種環保型殺菌劑；同時，也可避免紫外線消毒能效低、化學熏蒸污染大的缺點。
1.種子處理  將臭氧氣體導入清水中并不斷攪拌，10min后即制得臭氧溶液。將種子倒入其中浸泡15～20min，可殺滅種子表面的病毒、病菌及蟲卵
2.病蟲害防治 方法是：①熏棚消毒。定植前10天可結合高溫悶棚，利用臭氧發生器將臭氧集中施放于棚內，施放時間以不少于2h為宜。②防治苗床病蟲。先將苗床封嚴，每10m²每次施放1min，并密閉熏蒸10min，然后再通風30min。③設施蔬菜定植后的病蟲防治。定植緩苗后，每1畝（1畝約為0.067hm²）棚室持續施放臭氧7～10min，再密閉熏蒸15～20min，然后通風30min。無病蟲的棚室每5～7天施放1次，連續施用5次，每經2 ～3次施放時間再增加5min，直到每畝每次增至25min。熏蒸時間也同樣每經2～3次增加5～10min。
　　試驗證明，臭氧對番茄灰霉病、葉霉病、早疫病、晚疫病，黃瓜霜霉病、疫病等以及溫室白粉虱、潛葉蠅、蚜蟲等病蟲防治效果較好。但是，對于棚室土壤中的病蟲，由于臭氧氣體滲入土中的量太少，濃度也太低，所以沒有作用。
 
臭氧發生器使用方法
1、將臭氧發生器放置在待消毒室以外的特定（平穩、通風散熱良好）位置，檢查臭氧硅膠軟管與機器的臭氧輸出口是否已接好，將臭氧輸送管導入待消毒空間。
2、為達到最佳的臭氧消毒效果，請關閉門窗等，消毒時請勿有人員在室內。
3、接通電源，電壓表顯示當前電壓，打開氣泵開關，氣泵指示燈亮，氣泵開始工作。臭氧輸出口有氣體輸出。
4、延長時間打開臭氧開關（根據當前空氣溫度情況而定，濕度越大，時間越長，一般1-30秒，臭氧指示燈亮，機器開始工作，（15克以上臭氧發生器需要調節濃度旋鈕，對臭氧輸出濃度進行調節，）臭氧硅膠軟管有臭氧氣體輸出。
5、根據空間使用需要，將定時開關旋至與空間消毒相對應的消毒時間。（15克以上臭氧發生器無定時器，請另外配置）如不配置定時器，消毒完成后則需要人工關閉臭氧發生器。
6、達到設定的消毒時間后，消毒機將自動停止工作或者手動關閉臭氧發生器，完成作業后請將電源插頭拔出。
7、臭氧在室內一般半個小時后就會自動分解為氧氣，人若要長時間在室內居留時，需以聞不到濃重的臭氧異味為準。
8、消毒完成后請將臭氧發生器移至干燥通風處，以便箱內不會因為高溫高溫環境產生積水，對臭氧發生器產生影響。
 
臭氧發生器注意事項
1.臭氧發生器內的氣體中不可含烴類、腐蝕性氣體和任何其他能在氧／臭氧／電暈環境內發生反應的物質，這些物質會對臭氧發生器產生損害，且可能引發爆炸等安全事故。
2.在設計水冷臭氧發生器時，要防止大量水進入發生器內部的可能性。如果水封供氣壓縮機用的浮閥或空氣干燥器上的凝結水閥阻塞卡住，誰都會進入臭氧發生器電暈室內，繼而導致電暈集中、高電流密度和局部電介體發熱，導致介電體過早失效。
3.合理控制供氣壓力的變化。氣壓會影響電暈功率誘導和跨越介電體所加電壓，大范圍壓力變化將導致發生器運行不可靠。超出電暈功率范圍，會導致熔斷器或自動斷電器斷開。如果超出外加電壓峰值，還將造成介電體過早失效。

臭氧發生器的安裝要求是：①臭氧發生器的安裝位置必須高于地面1.2m以上，有條件時可高于儲水罐1～2m；②臭氧輸送管路和單向閥必須高于儲水罐1～2m；③嚴禁安裝在狹小、潮濕環境，設備距四周應有不小于300 mm的空間，要保證發生器工作環境通風及干燥； ④使用的線路容量應符合要求，以確保消除火災隱患；  ⑤其余安裝方法要嚴格按照產品使用說明書的要求進行安裝。